NEWPORT 优铂特 GM50A013102RMM020   GM50A Metal Sealed 10-50,000 sccm Mass Flow Controllers         质量流控制器，100 sccm N2，4VCR公头，0-5VDC，DB15，金属密封     G系列GM50A013102RMM020质量流控制器具有100 sccm的满量程流量范围，并且针对氮气（N2）进行了校准。它具有Swagelok 4 VCR外螺纹接头和带接地线的15针D型连接器，用于0到5 VDC的质量流控制。这个常闭阀具有金属密封。G系列质量流控制器利用最新的MKS控制算法，可实现在整个设备控制范围内对设定点进行快速、可重复的响应。典型的响应时间在500毫秒量级。数字校准在氮气校准气体上可达到设定点精度的1％。           参数   系列 G Series   类型 Mass Flow Controller   校准气体 Nitrogen (N2)   满量程流量范围 100 sccm   最大入口压力 150 psig   正常工作压差 10 to 40 psid   验证压力 1000 psig   爆破压力 1500 psig...