NEWPORT 优铂特 GE50A013101RMV020 GE50A Viton Sealed 10-50,000 sccm Mass Flow Controllers
NEWPORT 优铂特 GE50A013101RMV020 GE50A Viton Sealed 10-50,000 sccm Mass Flow Controllers 质量流控制器,10 sccm N2,4VCR公头,0-5VDC,DB15,氟橡胶密封 G系列GE50A013101RMV020质量流控制器具有10 sccm的满量程流量范围,并且针对氮气(N2)进行了校准。它具有Swagelok 4 VCR外螺纹接头和带接地线的15针D型连接器,用于0到5 VDC的质量流控制。这个常闭阀采用氟橡胶密封材料。G系列质量流控制器利用最新的MKS控制算法,可实现在整个设备控制范围内对设定点进行快速、可重复的响应。典型的响应时间在500毫秒量级。数字校准在氮气校准气体上可达到设定点精度的1%。 参数 系列 G Series 类型 Mass Flow Controller 校准气体 N2 满量程流量范围 10 sccm 最大入口压力 150 psig 正常工作压差 10 to 40 psid 验证压力 1000 psig 爆破压力 1500 psig 配件类型 4 VCR Male &nb...
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GE50A013101RMV020
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描述
NEWPORT 优铂特 GE50A013101RMV020 GE50A Viton Sealed 10-50,000 sccm Mass Flow Controllers
质量流控制器,10 sccm N2,4VCR公头,0-5VDC,DB15,氟橡胶密封
G系列GE50A013101RMV020质量流控制器具有10 sccm的满量程流量范围,并且针对氮气(N2)进行了校准。它具有Swagelok 4 VCR外螺纹接头和带接地线的15针D型连接器,用于0到5 VDC的质量流控制。这个常闭阀采用氟橡胶密封材料。G系列质量流控制器利用最新的MKS控制算法,可实现在整个设备控制范围内对设定点进行快速、可重复的响应。典型的响应时间在500毫秒量级。数字校准在氮气校准气体上可达到设定点精度的1%。
参数
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系列G Series
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类型Mass Flow Controller
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校准气体N2
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满量程流量范围10 sccm
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最大入口压力150 psig
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正常工作压差10 to 40 psid
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验证压力1000 psig
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爆破压力1500 psig
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配件类型4 VCR Male
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控制范围0.2 - 10 sccm
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流量输入输出信号0-5 VDC
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连接器类型15-pin Type D (Tied Grounds)
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典型精度±1% of set point for 20 to 100% Full Scale, ±0.2% of Full Scale for 2 to 20% Full Scale
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重复精度±0.3% of Reading
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分辨率0.1% of Full Scale
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零温度系数<0.05% of Full Scale/°C
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跨度温度系数<0.08% of Reading/°C
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入口压力系数<0.02% of Reading/psi
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典型稳定时间<750 msec, typical above 5% Full Scale
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预热时间30 minutes
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工作温度范围10 - 50°C
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存储湿度0 to 95% Relative Humidity, non-condensing
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存储温度范围-20 to 80°C
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外部泄漏完整性<1 x 10-09 (scc/sec He)
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通过关闭阀门泄漏完整性Up to 10K valve <0.1% of FS at 40 psig to atmosphere, 20K - 50K valve <1.0% of FS at 40 psig to atmosphere
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润湿材料316L S.S. VAR, 316 S.S., Elgiloy®, Nickel
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密封材料Viton
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表面光洁度16µ inch average Ra
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重量3 lbs (1.4 kg)
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CE 认证Yes
手机/微信:18320955412 电话:86 0755 84689265 QQ:2423332841 邮箱:2423332841@qq.com