NEWPORT 优铂特 253B-20-2CF-1   253B Exhaust Throttle Valves     排气节流阀，0.779英寸ID，2.75英寸CF法兰，挡板O型圈     253B-20-2CF-1排气节流阀控制从处理系统排出的气体。它具有0.779英寸（20毫米）的标称内径以及2.75英寸的CF法兰盘。包含一个挡板O形圈。调整挡板来控制气流，从而控制过程压力。253拥有专利的放置在挡板传动轴和电机驱动轴之间的非线性促动器，能够产生一个线性的阀传输特性并且提供平稳的线性压力控制。253类型有标准尺寸和法兰样式可供选择，并且与所有MKS节流阀控制器都是兼容的。         参数   类型 Exhaust Throttle Valve   法兰类型 CF   法兰尺寸 2.75 in.   内径 0.779 in. (20 mm)   阀门驱动 Mechanical (non belt) drive with integral cosine generator   阀门速度 7.5 s   分辨率 1/10,000   挡板O型圈 Yes   氦气泄漏率 1 x 10-8 scc/sec   闭环泄漏 <10-7 (Torr l/s)   工...