NEWPORT   优铂特   ZVR-PC    用于晶片定位的集成垂直旋转台   晶片定位位移台，集成垂直和直流旋转台   Newport的新型ZVR-PC是集成Z向垂直运动和直流伺服θ旋转的定位台，旨在精确地抬高和旋转200毫米和/或300毫米直径的晶片夹。ZVR-PC采用超薄设计，可提供精确的10毫米垂直运动和连续360°的角向行程。ZVR-PC通过在θ阶段使用直流伺服电机和集成的旋转编码器，能够进行高速，高性能的定位。通过集成的真空和单点接入的电线，以及三点安装接口，ZVR-PC为晶片定位等应用提供了方便，稳定和高性能的功能。有关ZVR-PC旋转和垂直运动能力的完整说明，请参考数据表。       参数     行程范围 10 mm   角度范围 360°   最大速度 80°/s   最大线速度 10 mm/s     最小位移增量 2.0 mdeg   最小位移增量，线性 0.05 µm     最大扭矩 1 Nm   中心负载能力 100 N   单向重复精度，...