NEWPORT   优铂特   RGA150    薄型大孔径直驱旋转平台   电动旋转位移台，高速，薄款设计   RGA150 薄型和大孔径旋转载物台满足快速调整晶圆和真空吸盘角度的需求。 尽管 RGA150 专为半导体应用量身定制，但也可用于其他工业应用，例如通孔成像/检测或激光加工、自动化或任何需要快速定位的通用定位应用。     参数   角度范围 360°   最大速度 1800°/s   最小位移增量 0.01 mdeg   峰值驱动扭矩 11 Nm   中心负载能力 50 N   双向重复精度，典型值 ±0.0975 mdeg   精度，典型值 ±4 mdeg   精度，保证值 ±8 mdeg   摆动，典型值 ±12 µrad   摆动，保证值 ±26 µrad   偏心率，典型值 ±0.5 µm   偏心率，保证值 ±1 µm   MTBF 20,000 hours @ 30% duty cycle   电缆长度 5 m   孔径 90 mm   重量 4.5 kg   顺...