NEWPORT   优铂特   MLT50-Z    超高精度线性电机垂直位移台     电动垂直位移台，50mm行程，线性电机，5N负载   MLT50-Z是一款高性能线性垂直位移台，行程为50毫米。具有磁性弹簧平衡系统，尺寸可补偿高达 0.5 kg的负载。MLT50-Z随附4个配重板（每个0.1公斤），使用时应根据客户有效负载调整数量。     参数   行程范围 50 mm   最小位移增量 5 nm   最大速度 500 mm/s   最大加速度 0.5 g   最大持续力 3 N   中心负载能力 5 N   精度，保证值 ±0.7 µm   双向重复精度，保证值 ±0.15 µm   驱动方式 Ironless Motor   反馈 1 Vpp 20 µm pitch   俯仰，保证值 ±75 µrad   偏摆，保证值 ±75 µrad   典型平面度 ±2 µm   直线度，保证值 ±2 µm   电缆长度 2.9 m   重量 3.2 kg   MTBF 20,000 h (100%...