NEWPORT   优铂特    NPXYZ100V6    真空兼容压电叠堆线性平移台   XYZ 线性位移台，真空开环压电堆栈 ，100 µm     NPXYZ100V6真空兼容的三轴纳米定位的线性位移台是基于压电控制的100um行程的线性位移台，可在XYZ轴上提供纳米分辨率的运动。它非常适用于小型组件的纳米定位，例如反射镜，光纤，激光二极管，微光学器件，传感器或细胞样本。应用包括光学延迟线，干涉仪的路径长度变化，激光光刻，扫描显微镜和膜片钳等。NPX位移台具有高度可靠的多层低压压电传感器（PZT）堆栈，可进行高占空比操作。精密的、有限元优化的平行四边形固态挠性导向系统可确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦的导向原理，NPX位移台无需维护，不易磨损。优势之一是具有快速响应和快速稳定的性能，使其适用于动态过程，例如高频误差补偿，跟踪，快速步进或连续扫描。在这种开环版本中，分辨率仅受控制电路的噪声限制，但由于压电陶瓷材料的滞后和蠕变，其可重复性和稳定性受到影响。固定是通过顶板...