NEWPORT 优铂特 NPXY200 NPX 压电叠堆线性平移台

NEWPORT   优铂特    NPXY200    NPX 压电叠堆线性平移台   压电XY线性位移台,开环,200 µm纳米定位     NPXY200两轴纳米定位的线性位移台是基于压电控制的200um行程的线性位移台,可在XY轴上提供纳米分辨率的运动。它非常适用于小型组件的纳米定位,例如反射镜,光纤,激光二极管,微光学器件,传感器或细胞样本。应用包括光学延迟线,干涉仪的路径长度变化,激光光刻,扫描显微镜和膜片钳等。NPX位移台具有高度可靠的多层低压压电传感器(PZT)堆栈,可进行高占空比操作。精密的、有限元优化的平行四边形固态挠性导向系统可确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦导轨,NPX位移台无需维护,不易磨损,并具有快速响应和快速稳定的性能,使其适用于动态过程,例如高频误差补偿,跟踪,快速步进或连续扫描。分辨率仅受控制电路的噪声限制,但由于压电陶瓷材料的滞后和蠕变,其可重复性和稳定性受到影响。固定是通过顶板和底板上的许多螺纹和定位销孔实现的。要安装到具有相同栅格的...
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NPXY200
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NEWPORT   优铂特    NPXY200    NPX 压电叠堆线性平移台

 

压电XY线性位移台,开环,200 µm纳米定位

 

 

NPXY200两轴纳米定位的线性位移台是基于压电控制的200um行程的线性位移台,可在XY轴上提供纳米分辨率的运动。它非常适用于小型组件的纳米定位,例如反射镜,光纤,激光二极管,微光学器件,传感器或细胞样本。应用包括光学延迟线,干涉仪的路径长度变化,激光光刻,扫描显微镜和膜片钳等。NPX位移台具有高度可靠的多层低压压电传感器(PZT)堆栈,可进行高占空比操作。精密的、有限元优化的平行四边形固态挠性导向系统可确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦导轨,NPX位移台无需维护,不易磨损,并具有快速响应和快速稳定的性能,使其适用于动态过程,例如高频误差补偿,跟踪,快速步进或连续扫描。分辨率仅受控制电路的噪声限制,但由于压电陶瓷材料的滞后和蠕变,其可重复性和稳定性受到影响。固定是通过顶板和底板上的许多螺纹和定位销孔实现的。要安装到具有相同栅格的光学平台或其他组件上,请使用转接板NPX-BP。与所有压电挠曲装置一样,在紧固过程中,应避免过大的弯矩载荷和作用在顶板与外壳之间的侧向力。这些外力可能会损坏位移台。
与NPC3纳米定位放大器一起使用。

 

 

 

参数
 
  • 行程范围
    0.2 mm  
     
  • 位移轴
    XY
     
  • 轴向负载
    40/40 N
     
  • 垂直负载能力
    100 N  
     
  • 轴向刚度
    0.65 N/μm / 0.652 N/µm
     
  • 反馈
    Open-loop
     
  • 电缆长度
    1 m
     
  • 电容
    5.2 µF  
     
  • 开环分辨率
    0.4 nm  
     
  • 开环行程
    200 µm  
     
  • 共振频率,空载
    350/350 Hz
     
  • 重量
    350 g  
     
  • RoHS
    Compliant

 

 

 

 

 

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