NEWPORT 优铂特 NPX400SG-D NPX 压电叠堆线性平移台

  NEWPORT   优铂特    NPX400SG-D    NPX 压电叠堆线性平移台   纳米定位位移台,400 µm,应变片,XPS   NPX400SG-D 纳米定位的线性位移台是基于压电控制的400um行程的线性位移台,可在X轴上提供纳米分辨率的运动。它非常适用于小型组件的纳米定位,例如反射镜,光纤,激光二极管,微光学器件,传感器或细胞样本。应用包括光学延迟线,干涉仪的路径长度变化,激光光刻,扫描显微镜和膜片钳等。NPX位移台具有高度可靠的多层低压压电传感器(PZT)堆栈,可进行高占空比操作。精密的、有限元优化的平行四边形固态挠性导向系统可确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦导轨,NPX位移台无需维护,不易磨损,并具有快速响应和快速稳定的性能,使其适用于动态过程,例如高频误差补偿,跟踪,快速步进或连续扫描。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器,可实现高精度和可重复的运动,还可以补偿执促动器的蠕变。传感器采用完整的惠斯通电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。固定...
分类:
货号:
NPX400SG-D
分享

相关产品

 
 
 

NEWPORT   优铂特    NPX400SG-D    NPX 压电叠堆线性平移台

 

纳米定位位移台,400 µm,应变片,XPS

 

NPX400SG-D 纳米定位的线性位移台是基于压电控制的400um行程的线性位移台,可在X轴上提供纳米分辨率的运动。它非常适用于小型组件的纳米定位,例如反射镜,光纤,激光二极管,微光学器件,传感器或细胞样本。应用包括光学延迟线,干涉仪的路径长度变化,激光光刻,扫描显微镜和膜片钳等。NPX位移台具有高度可靠的多层低压压电传感器(PZT)堆栈,可进行高占空比操作。精密的、有限元优化的平行四边形固态挠性导向系统可确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦导轨,NPX位移台无需维护,不易磨损,并具有快速响应和快速稳定的性能,使其适用于动态过程,例如高频误差补偿,跟踪,快速步进或连续扫描。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器,可实现高精度和可重复的运动,还可以补偿执促动器的蠕变。传感器采用完整的惠斯通电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。固定是通过顶板和底板上的许多螺纹和定位销孔实现的。要安装到具有相同栅格的光学平台或其他组件上,请使用转接板NPX-BP。与所有压电挠曲装置一样,在紧固过程中,应避免过大的弯矩载荷和作用在顶板与外壳之间的侧向力。这些外力可能会损坏位移台。
与XPS控制器一起使用。

 

参数

 
  • 行程范围
    0.4 mm  
     
  • 位移轴
    X
     
  • 轴向负载
    64 N
     
  • 垂直负载能力
    10 N  
     
  • 拉力
    30 N
     
  • 推动力
    300 N
     
  • 非线性度
    0.09%
     
  • 轴向刚度
    0.16 N/µm
     
  • 反馈
    Strain-gauge
     
  • 电缆长度
    1.2 m
     
  • 电容
    5.2 µF  
     
  • 闭环分辨率
    4 nm  
     
  • 闭环行程
    320 µm  
     
  • 开环分辨率
    0.4 nm  
     
  • 开环行程
    400 µm  
     
  • 共振频率,空载
    200 Hz
     
  • 重量
    180 g  
     
  • RoHS
    Compliant
     
  •  

 

 

 

 

手机/微信:18320955412   电话:86 0755 84689265  QQ:2423332841  邮箱:2423332841@qq.com