NEWPORT 优铂特 NPX200 NPX 压电叠堆线性平移台
NEWPORT 优铂特 NPX200 NPX 压电叠堆线性平移台 压电线性位移台,200 µm纳米定位,开环 NPX200 纳米定位的线性位移台是基于压电控制的200um行程的线性位移台,可在X轴上提供纳米分辨率的运动。它非常适用于小型组件的纳米定位,例如反射镜,光纤,激光二极管,微光学器件,传感器或细胞样本。应用包括光学延迟线,干涉仪的路径长度变化,激光光刻,扫描显微镜和膜片钳等。NPX位移台具有高度可靠的多层低压压电传感器(PZT)堆栈,可进行高占空比操作。精密的、有限元优化的平行四边形固态挠性导向系统可确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦导轨,NPX位移台无需维护,不易磨损,并具有快速响应和快速稳定的性能,使其适用于动态过程,例如高频误差补偿,跟踪,快速步进或连续扫描。分辨率仅受控制电路的噪声限制,但由于压电陶瓷材料的滞后和蠕变,其可重复性和稳定性受到影响。固定是通过顶板和底板上的许多螺纹和定位销孔实现的。要安装到具有相同栅格的光学平台或其他...
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NPX200
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描述
NEWPORT 优铂特 NPX200 NPX 压电叠堆线性平移台
压电线性位移台,200 µm纳米定位,开环
NPX200 纳米定位的线性位移台是基于压电控制的200um行程的线性位移台,可在X轴上提供纳米分辨率的运动。它非常适用于小型组件的纳米定位,例如反射镜,光纤,激光二极管,微光学器件,传感器或细胞样本。应用包括光学延迟线,干涉仪的路径长度变化,激光光刻,扫描显微镜和膜片钳等。NPX位移台具有高度可靠的多层低压压电传感器(PZT)堆栈,可进行高占空比操作。精密的、有限元优化的平行四边形固态挠性导向系统可确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦导轨,NPX位移台无需维护,不易磨损,并具有快速响应和快速稳定的性能,使其适用于动态过程,例如高频误差补偿,跟踪,快速步进或连续扫描。分辨率仅受控制电路的噪声限制,但由于压电陶瓷材料的滞后和蠕变,其可重复性和稳定性受到影响。固定是通过顶板和底板上的许多螺纹和定位销孔实现的。要安装到具有相同栅格的光学平台或其他组件上,请使用转接板NPX-BP。与所有压电挠曲装置一样,在紧固过程中,应避免过大的弯矩载荷和作用在顶板与外壳之间的侧向力。这些外力可能会损坏位移台。
与NPC3纳米定位放大器一起使用。
与NPC3纳米定位放大器一起使用。
参数
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行程范围0.2 mm
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位移轴X
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轴向负载16 N
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垂直负载能力10 N
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轴向刚度0.08 N/µm
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反馈Open-loop
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电缆长度1 m
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电容1.8 µF
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开环分辨率0.4 nm
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开环行程200 µm
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共振频率,空载177 Hz
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重量180 g
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RoHSCompliant
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