NEWPORT 优铂特 MTN100PPV6 MTN 高载重钢电动线性位移台
NEWPORT 优铂特 MTN100PPV6 MTN 高载重钢电动线性位移台 电动线性位移台,不锈钢,步进电机,100mm行程,真空,M4&M6 MTN 100 PPV 6线性位移台采用全钢结构,将高刚度和热稳定性与低轮廓设计相结合。这个步进驱动版本有100 mm的行程和0.1 µm最小位移增量。MTN位移台可承受高达100 kg的重量,具有高达200 N的极高轴向载重能力。其特点包括:相对的单行轴承表面、经过金刚石修正的丝杠、匹配的精密研磨螺母和非移动滚珠保持架设计。螺母设计包括防反冲预加载和精密的解耦系统,确保很少甚至没有位移台移动。非迁移式球笼设计可防止垂直应用中的任何漂移。真空兼容至10-6 Torr。注意:由于各种馈通配置和 顾客偏好,位移台附带的电缆不是真空兼容的。请联系Newport,了解真空兼容电缆。 参数 行程范围 100 mm 最大速度 20 mm/s 最小位移增量 400 nm 中心负载能力 1000 N 轴向负载 (+Cx) 100 N 逆轴向负载能力 (-Cx...
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MTN100PPV6
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NEWPORT 优铂特 MTN100PPV6 MTN 高载重钢电动线性位移台
电动线性位移台,不锈钢,步进电机,100mm行程,真空,M4&M6
MTN 100 PPV 6线性位移台采用全钢结构,将高刚度和热稳定性与低轮廓设计相结合。这个步进驱动版本有100 mm的行程和0.1 µm最小位移增量。MTN位移台可承受高达100 kg的重量,具有高达200 N的极高轴向载重能力。其特点包括:相对的单行轴承表面、经过金刚石修正的丝杠、匹配的精密研磨螺母和非移动滚珠保持架设计。螺母设计包括防反冲预加载和精密的解耦系统,确保很少甚至没有位移台移动。非迁移式球笼设计可防止垂直应用中的任何漂移。真空兼容至10-6 Torr。注意:由于各种馈通配置和 顾客偏好,位移台附带的电缆不是真空兼容的。请联系Newport,了解真空兼容电缆。
参数
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行程范围100 mm
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最大速度20 mm/s
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最小位移增量400 nm
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中心负载能力1000 N
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轴向负载 (+Cx)100 N
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逆轴向负载能力 (-Cx)-21 N
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精度,典型值±1.5 µm
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精度,保证值±2.5 µm
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单向重复精度,典型值±0.30 µm
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单向重复精度,保证值±0.75 µm
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双向重复精度,典型值±2.25 µm
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双向重复精度,保证值±2.75 µm
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俯仰,典型值±10 µrad
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俯仰,保证值±20 µrad
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俯仰顺应性6 µrad/Nm
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偏摆,典型值±10 µrad
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偏摆,保证值±17 µrad
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偏摆顺应性5 µrad/Nm
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滚转顺应性4 µrad/Nm
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驱动方式Stepper Motor
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原点重复精度±5 µm
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电缆长度3 m
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真空兼容性10-6 Torr
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螺纹类型M4 and M6
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重量14.2 kg
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MTBF20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
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最大耗电量10 W
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顺应性RoHS 3, CE


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