NEWPORT   优铂特    M-IMS500LM-S   IMS-LM 高性能长行程线性电机平移台     电动线性位移台，线性电机，500mm行程，XPS-D/RL，不带电缆，M6   M-IMS500LM-S线性位移台专为500 mm行程范围的自支撑应用而设计。FEM优化铝本体的极端刚度支持4点安装，而不会降低其性能，非常适合延迟线和非平面安装表面上的其他应用。线性电机采用居中、高效的三相同步铁芯，线性电机作为驱动元件，提供高速、高加速度和高系统响应性。IMS系列位移台是许多精密工业应用的理想之选，例如半导体晶片检测、微电子测试和组装、DNA测序或激光加工。相关的驱动模块和电缆套件是必需的，必须单独购买(见下表附件)。 参数   行程范围 500 mm   最大速度1 1000 mm/s   最小位移增量 20 nm   连续运动力 100 N   峰值驱动力 210 N   中心负载能力 600 N   精度，典型值 ±2.5 µm   精度，保证值 ±5.5 µm   双向重复精度，典型...