NEWPORT 优铂特 M-ILS300LM-S ILS-LM 系列高性能中档行程线性电机动平移台
NEWPORT 优铂特 M-ILS300LM-S ILS-LM 系列高性能中档行程线性电机动平移台 电动线性位移台,300mm行程,线性电机,M6螺纹 M-ILS300LM-S线性电机位移台具有300 mm高性能行程和低成本设计的稳健设计,使其成为精密工业应用的经济高效的解决方案,例如半导体晶片检查、微电子测试和组装、拾取和放置、DNA测序或激光加工。它采用了一种经过FEM优化的挤压铝型材,该型材非常坚硬,最大限度地减少了铝型材和钢轨热膨胀系数不同所造成的弯曲效应。车身的刚性使负载下的挠度最小。ILS-LM采用了居中、高效的三相同步无铁芯线性电机,绝对无噪音,具有更高的速度、更高的加速度和更高的系统响应性,不会出现电机电刷或驱动螺钉磨损。循环滚珠轴承滑座具有卓越的有效载荷能力和长寿命。运动平稳,噪音低。精密位置反馈由安装在位移台上的可重复线性标尺提供。 M - ILS300LM - S的编码器信号将由Newport插值具有nm分辨率的XPS-D运动控制器,具有卓越的位置灵敏度、可重复性...
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M-ILS300LM-S
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描述
NEWPORT 优铂特 M-ILS300LM-S ILS-LM 系列高性能中档行程线性电机动平移台
电动线性位移台,300mm行程,线性电机,M6螺纹
M-ILS300LM-S线性电机位移台具有300 mm高性能行程和低成本设计的稳健设计,使其成为精密工业应用的经济高效的解决方案,例如半导体晶片检查、微电子测试和组装、拾取和放置、DNA测序或激光加工。它采用了一种经过FEM优化的挤压铝型材,该型材非常坚硬,最大限度地减少了铝型材和钢轨热膨胀系数不同所造成的弯曲效应。车身的刚性使负载下的挠度最小。ILS-LM采用了居中、高效的三相同步无铁芯线性电机,绝对无噪音,具有更高的速度、更高的加速度和更高的系统响应性,不会出现电机电刷或驱动螺钉磨损。循环滚珠轴承滑座具有卓越的有效载荷能力和长寿命。运动平稳,噪音低。精密位置反馈由安装在位移台上的可重复线性标尺提供。 M - ILS300LM - S的编码器信号将由Newport插值具有nm分辨率的XPS-D运动控制器,具有卓越的位置灵敏度、可重复性和稳定性。相关的驱动模块和电缆套件是必需的,必须单独购买(参见下面的附件部分)。
参数
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行程范围300 mm
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最大速度500 mm/s
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最小位移增量10 nm
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连续运动力15 N
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峰值驱动力30 N
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中心负载能力250 N
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精度,典型值±1.2 µm
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精度,保证值±2.5 µm
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双向重复精度,典型值±0.12 µm
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双向重复精度,保证值±0.30 µm
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俯仰,典型值±40 µrad
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俯仰,保证值±150 µrad
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俯仰顺应性10 µrad/Nm
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偏摆,典型值±25 µrad
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偏摆,保证值±150 µrad
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偏摆顺应性10 µrad/Nm
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滚转顺应性15 µrad/Nm
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驱动方式Linear Motor
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原点重复精度±0.1 µm
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螺纹类型M6
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重量4.5 kg
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MTBF20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
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最大耗电量80 W
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顺应性RoHS 3, CE


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