NEWPORT 优铂特 M-ILS200LM-S ILS-LM 系列高性能中档行程线性电机动平移台

NEWPORT   优铂特    M-ILS200LM-S    ILS-LM 系列高性能中档行程线性电机动平移台     电动线性位移台,200mm行程,线性电机,M6螺纹   M - ILS200LM - S线性电机位移台采用了坚固的设计,具有200 mm的高性能行程和低成本设计,使其成为精密工业应用的经济高效的解决方案,例如半导体晶片检查、微电子测试和组装、拾取和放置、DNA测序或激光加工。它采用了一种经过FEM优化的挤压铝型材,该型材非常坚硬,最大限度地减少了铝型材和钢轨热膨胀系数不同所造成的弯曲效应。车身的刚性使负载下的挠度最小。ILS-LM采用了居中、高效的三相同步无铁芯线性电机,绝对无噪音,具有更高的速度、更高的加速度和更高的系统响应性,不会出现电机电刷或驱动螺钉磨损。循环滚珠轴承滑座具有卓越的有效载荷能力和长寿命。运动平稳,噪音低。精密位置反馈由安装在位移台上的可重复线性标尺提供。 M - ILS200LM - S的编码器信号将由Newport插值具有nm分辨率的XPS-D运动控制器,具有卓越...
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M-ILS200LM-S
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NEWPORT   优铂特    M-ILS200LM-S    ILS-LM 系列高性能中档行程线性电机动平移台

 

 

电动线性位移台,200mm行程,线性电机,M6螺纹

 

M - ILS200LM - S线性电机位移台采用了坚固的设计,具有200 mm的高性能行程和低成本设计,使其成为精密工业应用的经济高效的解决方案,例如半导体晶片检查、微电子测试和组装、拾取和放置、DNA测序或激光加工。它采用了一种经过FEM优化的挤压铝型材,该型材非常坚硬,最大限度地减少了铝型材和钢轨热膨胀系数不同所造成的弯曲效应。车身的刚性使负载下的挠度最小。ILS-LM采用了居中、高效的三相同步无铁芯线性电机,绝对无噪音,具有更高的速度、更高的加速度和更高的系统响应性,不会出现电机电刷或驱动螺钉磨损。循环滚珠轴承滑座具有卓越的有效载荷能力和长寿命。运动平稳,噪音低。精密位置反馈由安装在位移台上的可重复线性标尺提供。 M - ILS200LM - S的编码器信号将由Newport插值具有nm分辨率的XPS-D运动控制器,具有卓越的位置灵敏度、可重复性和稳定性。相关的驱动模块和电缆套件是必需的,必须单独购买(参见下面的附件部分)。
参数
 
  • 行程范围
    200 mm
     
  • 最大速度
    500 mm/s
     
  • 最小位移增量
    10 nm
     
  • 连续运动力
    15 N
     
  • 峰值驱动力
    30 N
     
  • 中心负载能力
    250 N
     
  • 精度,典型值
    ±1.0 µm
     
  • 精度,保证值
    ±2.0 µm
     
  • 双向重复精度,典型值
    ±0.12 µm
     
  • 双向重复精度,保证值
    ±0.30 µm
     
  • 俯仰,典型值
    ±40 µrad
     
  • 俯仰,保证值
    ±135 µrad
     
  • 俯仰顺应性
    10 µrad/Nm
     
  • 偏摆,典型值
    ±25 µrad
     
  • 偏摆,保证值
    ±125 µrad
     
  • 偏摆顺应性
    10 µrad/Nm
     
  • 滚转顺应性
    15 µrad/Nm
     
  • 驱动方式
    Linear Motor
     
  • 原点重复精度
    ±0.1 µm
     
  • 螺纹类型
    M6
     
  • 重量
    3.7 kg
     
  • MTBF
    20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
     
  • 最大耗电量
    80 W
     
  • 顺应性
    RoHS 3, CE
     
 

 

 

 

 

 

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