NEWPORT 优铂特 ONE-XY200 One-XY 中行程集成 XY 线性平移台
NEWPORT 优铂特 ONE-XY200 One-XY 中行程集成 XY 线性平移台 电动XY 线性位移台,线性电机,190mm行程 ONE-XY200是一款集成XY线性电机位移台,旨在消除单个X级和Y级的集成,并提高系统的动态应用刚度。它的特点是行程范围为190 mm,X轴和Y轴之间有精确的正交对齐。这一位移台利用坚固的部件,如其无铁电机驱动器和交叉滚子轴承来提供高性能,使它们成为精密工业应用的理想解决方案,如半导体晶片检测、微电子测试和组装、计量、激光微加工。 参数 电动轴 XY 行程范围 190 mm 最大速度 200 mm/s 最小位移增量 50 nm 最大加速度 0.2 G 连续运动力 20 N 峰值驱动力 42 N 中心负载能力 150 N 精度,保证值 ±2.5 µm 双向重复精度,保证值 ±0.090 µm 平面度,典型值 ±2.0 µm 直线度,典型值 ±2.0 µm ...
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ONE-XY200
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描述
NEWPORT 优铂特 ONE-XY200 One-XY 中行程集成 XY 线性平移台
电动XY 线性位移台,线性电机,190mm行程
ONE-XY200是一款集成XY线性电机位移台,旨在消除单个X级和Y级的集成,并提高系统的动态应用刚度。它的特点是行程范围为190 mm,X轴和Y轴之间有精确的正交对齐。这一位移台利用坚固的部件,如其无铁电机驱动器和交叉滚子轴承来提供高性能,使它们成为精密工业应用的理想解决方案,如半导体晶片检测、微电子测试和组装、计量、激光微加工。
参数
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电动轴XY
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行程范围190 mm
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最大速度200 mm/s
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最小位移增量50 nm
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最大加速度0.2 G
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连续运动力20 N
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峰值驱动力42 N
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中心负载能力150 N
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精度,保证值±2.5 µm
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双向重复精度,保证值±0.090 µm
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平面度,典型值±2.0 µm
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直线度,典型值±2.0 µm
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正交性96 µrad
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俯仰,保证值±75 µrad
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偏摆,保证值±75 µrad
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滚转,典型值±36 µrad
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驱动方式Linear Motor
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原点重复精度±0.1 µm
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电缆长度3 m
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宽度275 mm
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重量12 kg
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MTBF20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
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顺应性RoHS 3, CE


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