NEWPORT   优铂特     ONE-XY100HA   One-XY 中行程集成 XY 线性平移台   电动XY 线性位移台，线性电机，90mm行程，高精度   ONE - XY100HA 是集成XY线性电机位移台的高精度版本，旨在消除单个X和Y级的集成，并提高系统的动态应用刚度。它的特点是行程范围为90 mm，X轴和Y轴之间有精确的正交对齐。这一位移台利用坚固的部件，如其无铁电机驱动器和交叉滚子轴承来提供高性能，使它们成为精密工业应用的理想解决方案，如半导体晶片检测、微电子测试和组装、计量、激光微加工。     参数     电动轴 XY   行程范围 90 mm   最大速度 200 mm/s   最小位移增量 50 nm   最大加速度 0.3 G   连续运动力 10 N   峰值驱动力 21 N   中心负载能力 120 N   精度，保证值 ±0.3 µm   双向重复精度，典型值 ±0.040 µm   双向重复精度，保证值 ±0.080 µm   平面度，典型...