NEWPORT 优铂特 MFA-CC MFA 微型钢电动线性位移台
电动线性位移台,微型,25mm行程,直流电机,M2和M3

Newport专有的双列直线球轴承设计具有直接加工到平台结构框架中的轴承方式,可实现非常顺畅的行程,更长的耐用性和更长的使用寿命。 与使用商用轴承的其他解决方案相比,MFA线性位移台具有更高的负载能力和刚度,并且俯仰和偏航误差也较小。

直流电动机的最大特点是速度快,运动平稳,效率高,功率/重量比高。MFA-CC直流电动机具有一个集成的齿轮箱和一个电动机安装的旋转编码器。这个2,048 cts / rev 高分辨率的旋转编码器提供位置反馈。 结合低摩擦机械设计,MFA-CC可提供100纳米灵敏度的超平滑运动。 更快的运动,更高的可靠性和更低的游隙使直流电动机驱动的位移台非常适合要求小增量运动,高动态速度和良好重复性的应用。
全钢机身允许使用更为紧凑的设计,使之具有出色的刚度重量比、更高的热稳定性和载重能力。
平移台两端具有运行端点限位开关,以防止平移台因超程而受损。


有关更多用途和安装选项,顶板和底板 可以单独订购实现垂直(Z轴)安装和光学平台安装。 对于垂直安装,请注意,垂直(Z轴)平台应连接到MFA- BK 。首先(通过MFA-BK的两个沉孔M3孔),然后可以通过MFA-BK的四个沉孔M2孔将组合安装到水平(X轴或Y轴)平台上。
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行程范围25 mm
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最大速度2.5 mm/s
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最小位移增量100 nm
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中心负载能力50 N
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轴向负载 (+Cx)10 N
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逆轴向负载能力 (-Cx)-10 N
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精度,典型值±0.7 µm
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精度,保证值±3.0 µm
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单向重复精度,典型值±0.08 µm
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单向重复精度,保证值±0.15 µm
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双向重复精度,典型值±0.15 µm
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双向重复精度,保证值±0.75 µm
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俯仰,典型值±25 µrad
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俯仰,保证值±100 µrad
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俯仰顺应性80 µrad/Nm
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偏摆,典型值±30 µrad
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偏摆,保证值±50 µrad
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偏摆顺应性80 µrad/Nm
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滚转顺应性60 µrad/Nm
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材料Steel
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轴承Double-Row Ball Bearings
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驱动方式DC Motor
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原点重复精度±2.5 µm
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电缆长度3 m
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连接器类型DB25 Male
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真空兼容性No
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螺纹类型M2 and M3
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重量0.63 kg
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MTBF10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)
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最大耗电量10 W
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顺应性RoHS 3, CE
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