NEWPORT 优铂特 XML210-S XM 超精密线性电机平移台
NEWPORT 优铂特 XML210-S XM 超精密线性电机平移台
电动线性位移台,线性电机,210mm行程,300N载重,M4和M6
适用于激光加工应用
XM平移台是激光微加工、标记、切割和纳米图案形成等应用的理想平移台。此视频显示两个XM平移台堆叠在由NewportXPS控制器驱动的2轴(XY)系统中,用于与振镜扫描器同步的复杂、平滑、超高精度运动。
3轴超精密
XM系列直接驱动平移台为最苛刻的应用提供超高精度运动。此视频显示由两个XM平移台和一个xms-v垂直平移台组成的组件,该组件提供3个轴(XYZ)的运动,可用于聚焦、传感器测试/校准、直接激光光刻和精密组装等应用。
可以通过命令控制 1 nm 位移步长


超精密设计和 Heidenhain 光栅尺使 XM 线性平移台系列能够在受控环境中通过一致的命令控制 1 nm MIM。
创新的中心驱动、无铁、直接驱动线性电机


与螺钉驱动平移台不同,XM采用中心驱动、无铁芯线性电机作为驱动元件。由于线性电机是无摩擦的直接驱动设备,因此没有限制运动性能的侧隙或滞后、卷绕或静摩擦。线性电机驱动器还具有更高的速度、加速度和系统响应性的优点,同时没有电机电刷或驱动螺钉的磨损。超大、无铁芯电机线圈能确保零齿槽,实现超平滑速度控制,与其他平移台设计相比,具有更高的效率。这将导致产生的热量显著减少,发热通常是超精密运动应用的主要限制因素。为了进一步改善热管理及其对平移台性能的影响,XM 平移台还具有一个优点,其磁轨和平移台托架之间采用了成熟的全程去耦机制。
配套的抗蠕变交叉滚子轴承可实现超高精密控制


为了确保最精确的轨迹控制,XM平移台具有配套的同类最佳防蠕动式交叉滚子轴承对。这些轴承中没有再循环元件,因此可以为最苛刻的扫描和检测系统提供充足的无波纹运动。而且,齿轮保持架会防止轴承罩移位,其他直线轴承产品可能出现此类移位。
面向最佳 XY 组件的 T 形托架设计


在 XM 上使用的 T 形托架为精密 XY 组件提供了最佳解决方案,同时不会影响平移台预载荷。与具有 C 形托架设计的平移台相比,它更加坚固,并能适应非理想的安装条件。
参数
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行程范围210 mm
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最大速度300 mm/s
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最小位移增量11 nm
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连续运动力50 N
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峰值驱动力240 N
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中心负载能力300 N
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精度,典型值±0.5 µm
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精度,保证值±1.5 µm
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双向重复精度,典型值±0.032 µm
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双向重复精度,保证值±0.040 µm
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平面度,典型值(保证值)±0.75 (±1.50) µm
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直线度典型值(保证值)±0.75 (±1.50) µm
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俯仰,典型值±15 µrad
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俯仰,保证值±50 µrad
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俯仰顺应性2.0 µrad/Nm
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偏摆,典型值±10 µrad
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偏摆,保证值±40 µrad
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偏摆顺应性1.0 µrad/Nm
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滚转顺应性0.5 µrad/Nm
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驱动方式Linear Motor
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原点重复精度±0.025 µm
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螺纹类型M4 and M6
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重量13 kg
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MTBF20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
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最大耗电量100 W
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顺应性RoHS 3, CE
注释:
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Requires operation in controlled environment to achieve specification.


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