NEWPORT 优铂特 XML350-S XM 超精密线性电机平移台

NEWPORT   优铂特      XML350-S    XM 超精密线性电机平移台     电动线性位移台,线性电机,350mm行程,300N载重,M4和M6   XML350 - S超性能线性位移台具有世界领先的动态性能,能够在350mm的行程范围内持续、可靠地移动至1nm。创新和紧凑;XM级在最复杂的轨迹上支持鲁棒的、可重复的运动,具有卓越的精度。XM性能采用精密设计的部件和设计,最大限度地减少磨损和电机发热,让您的长期运动投资最大化。XM位移台是一种超高性能解决方案,适用于激光加工、半导体晶片加工、传感器测试和校准、超精密装配以及其他需要卓越动态响应的扫描应用。XML-S位移台旨在与XPS-D控制器一起使用。相关的驱动模块和电缆套件是必需的,必须单独购买(参见下面的附件部分)。 适用于激光加工应用   XM平移台是激光微加工、标记、切割和纳米图案形成等应用的理想平移台。此视频显示两个XM平移台堆叠在由NewportXPS控制器驱动的2轴(XY)系统中,用于与振镜扫描器同步的复杂、平滑、超...
分类:
货号:
XML350-S
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NEWPORT   优铂特      XML350-S    XM 超精密线性电机平移台

 

 

电动线性位移台,线性电机,350mm行程,300N载重,M4和M6

 

参数

 
  • 行程范围
    350 mm
     
  • 最大速度
    300 mm/s
     
  • 最小位移增量1
    1 nm
     
  • 连续运动力
    50 N
     
  • 峰值驱动力
    240 N
     
  • 中心负载能力
    300 N
     
  • 精度,典型值
    ±0.5 µm
     
  • 精度,保证值
    ±1.5 µm
     
  • 双向重复精度,典型值
    ±0.035 µm
     
  • 双向重复精度,保证值
    ±0.040 µm
     
  • 平面度,典型值(保证值)
    ±0.75 (±1.50) µm
     
  • 直线度典型值(保证值)
    ±0.75 (±1.50) µm
     
  • 俯仰,典型值
    ±20 µrad
     
  • 俯仰,保证值
    ±50 µrad
     
  • 俯仰顺应性
    0.7 µrad/Nm
     
  • 偏摆,典型值
    ±10 µrad
     
  • 偏摆,保证值
    ±40 µrad
     
  • 偏摆顺应性
    0.2 µrad/Nm
     
  • 滚转顺应性
    0.1 µrad/Nm
     
  • 驱动方式
    Linear Motor
     
  • 原点重复精度
    ±0.025 µm
     
  • 螺纹类型
    M4 and M6
     
  • 重量
    22 kg
     
  • MTBF
    20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
     
  • 最大耗电量
    100 W
     
  • 顺应性
    RoHS 3, CE
     
 
注释:

 

  1. Requires operation in controlled environment to achieve specification.

 

 

 

 

 

 

 

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