NEWPORT 优铂特 XMS100-S XM 超精密线性电机平移台

NEWPORT   优铂特      XMS100-S    XM 超精密线性电机平移台   电动线性位移台,线性电机,100mm行程,100N载重,M4和M6   XMS100-S超性能线性位移台具有世界领先的动态性能,能够在100 mm的行程范围内持续、可靠地移动至1 nm。创新且紧凑;XM级在最复杂的轨迹上支持鲁棒的、可重复的运动,具有卓越的精度。XM性能采用精密设计的部件和设计,最大限度地减少磨损和电机发热,让您的长期运动投资最大化。XM-S位移台是一种超高性能的解决方案,适用于激光加工、半导体晶片加工、传感器测试和校准、超精密装配以及其他具有高动态响应的扫描应用。XMS-S级生产线旨在与XPS-D控制器一起使用。 需要相关的驱动模块和电缆套件,所有-S位移台必须单独购买。(见下文附件部分)。 适用于激光加工应用   XM平移台是激光微加工、标记、切割和纳米图案形成等应用的理想平移台。此视频显示两个XM平移台堆叠在由NewportXPS控制器驱动的2轴(XY)系统中,用于与振镜扫描器同步的复杂、平...
分类:
货号:
XMS100-S
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NEWPORT   优铂特      XMS100-S    XM 超精密线性电机平移台

 

电动线性位移台,线性电机,100mm行程,100N载重,M4和M6

 

参数

 
  • 行程范围
    100 mm
     
  • 最大速度
    300 mm/s
     
  • 最小位移增量1
    1 nm
     
  • 连续运动力
    25 N
     
  • 峰值驱动力
    100 N
     
  • 中心负载能力
    100 N
     
  • 精度,典型值
    ±0.3 µm
     
  • 精度,保证值
    ±0.75 µm
     
  • 双向重复精度,典型值
    ±0.030 µm
     
  • 双向重复精度,保证值
    ±0.040 µm
     
  • 平面度,典型值(保证值)
    ±0.37 (±0.75) µm
     
  • 直线度典型值(保证值)
    ±0.37 (±0.75) µm
     
  • 俯仰,典型值
    ±12 µrad
     
  • 俯仰,保证值
    ±25 µrad
     
  • 俯仰顺应性
    2.5 µrad/Nm
     
  • 偏摆,典型值
    ±10 µrad
     
  • 偏摆,保证值
    ±25 µrad
     
  • 偏摆顺应性
    3.5 µrad/Nm
     
  • 滚转顺应性
    2.0 µrad/Nm
     
  • 驱动方式
    Linear Motor
     
  • 原点重复精度
    ±0.025 µm
     
  • 螺纹类型
    M4 and M6
     
  • 重量
    3.5 kg
     
  • MTBF
    20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
     
  • 最大耗电量
    70 W
     
  • 顺应性
    RoHS 3, CE
     
 
注释:

 

  1. Requires operation in controlled environment to achieve specification.

 

   

 

 

 

 

 

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