NEWPORT 优铂特 IMS1000LM-S IMS-LM 高性能长行程线性电机平移台
NEWPORT 优铂特 IMS1000LM-S IMS-LM 高性能长行程线性电机平移台 电动线性位移台,1000mm行程,线性电机,1/4-20,不带电缆 IM1000 LM - S线性位移台专为1000 mm行程范围的自支撑应用而设计。该位移台具有稳健的设计和低成本的高性能,使其成为精密工业和实验室应用的经济高效的解决方案。IMS采用FEM优化的挤压铝车身,以避免弯曲效应或负载下的变形。线性电机采用居中、高效的三相同步铁芯,线性电机作为驱动元件,提供高速、高加速度和高系统响应性。IMS系列位移台是许多精密工业应用的理想之选,例如半导体晶片检测、微电子测试和组装、DNA测序或激光加工。相关的驱动模块和电缆套件是必需的,必须单独购买(参见下面的附件部分)。 参数 行程范围 1000 mm 最大速度1 1000 mm/s 最小位移增量 20 nm 连续运动力 100 N 峰值驱动力 210 N 中心负载能力 600 N 精度,典型值 ±4.0 µm 精度...
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IMS1000LM-S
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描述
NEWPORT 优铂特 IMS1000LM-S IMS-LM 高性能长行程线性电机平移台
电动线性位移台,1000mm行程,线性电机,1/4-20,不带电缆
IM1000 LM - S线性位移台专为1000 mm行程范围的自支撑应用而设计。该位移台具有稳健的设计和低成本的高性能,使其成为精密工业和实验室应用的经济高效的解决方案。IMS采用FEM优化的挤压铝车身,以避免弯曲效应或负载下的变形。线性电机采用居中、高效的三相同步铁芯,线性电机作为驱动元件,提供高速、高加速度和高系统响应性。IMS系列位移台是许多精密工业应用的理想之选,例如半导体晶片检测、微电子测试和组装、DNA测序或激光加工。相关的驱动模块和电缆套件是必需的,必须单独购买(参见下面的附件部分)。
参数
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行程范围1000 mm
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最大速度11000 mm/s
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最小位移增量20 nm
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连续运动力100 N
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峰值驱动力210 N
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中心负载能力600 N
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精度,典型值±4.0 µm
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精度,保证值±9.0 µm
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双向重复精度,典型值±0.12 µm
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双向重复精度,保证值±0.50 µm
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俯仰,典型值±112 µrad
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俯仰,保证值±225 µrad
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俯仰顺应性0.2 µrad/Nm
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偏摆,典型值±40 µrad
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偏摆,保证值±150 µrad
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偏摆顺应性1 µrad/Nm
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滚转顺应性1 µrad/Nm
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驱动方式Linear Motor
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原点重复精度±0.05 µm
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螺纹类型1/4-20
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重量28 kg
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MTBF20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
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最大耗电量220 W
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顺应性RoHS 3, CE
注释:
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1000 mm/s with XPS-EDBL, 500 mm/s with XPS-DRV11 / XPS-DRV02




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